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UHV Dosierventil mit Schrittmotorantrieb

Die schrittmotorbetätigte Version des Dosierventils ermöglicht die Automatisierung eines Dosiervorganges. Der Gasdurchfluss kann dabei durch ein analoges Signal (0-10V) oder durch Steuerung mit Hilfe eines PCs mit RS232-Schnittstelle eingestellt werden. Der Hub wird in 1.000 Schritte aufgeteilt, bei der Steuerung über RS232 ist eine Erhöhung der Schrittzahl möglich.

Mit Hilfe des schrittmotorbetätigten UHV Dosierventils ist eine Durchflussregelung oder auch eine Druckregelung in allen Vakuumbereichen von von Grob-, Fein- und Hoch- bis zu Ultrahochvakuum möglich. 

Der Schrittmotor ist mit einem Planetengetriebe ausgestattet, ausgelegt für Langzeitbetrieb unter hoher Temperatur. Ein elektrischer Endschalter meldet die geschlossene Stellung. Ein thermischer Widerstand sorgt dafür, dass der Ventilkörper auf 300°C sein kann, während der Antrieb auf 150°C bleibt. Daher ist eine thermische Isolierung des Antriebs nicht nötig. Das Ventil durchläuft den gesamten Regelbereich innerhalb von 10 Sekunden.

Im Lieferumfang ist enthalten: Steuereinheit, Netzkabel, RS232-Kabel, alle Stecker und 5m Motorkabel.

Technische Spezifiktaion Schrittmotor Antrieb
Hub: Auflösung1.000 (bei RS232-Ansteuerung Erhöhung durch Konfiguration möglich)
Verfahrzeit für gesamten Hub10 s
Anschlussspannung Steuereinheit230VAC/110VAC
Betriebsarten
  • manuell (Auf/Zu - Schalter)
  • analog (0-10VDC)
  • RS232 (serielle Schnittstelle)
Motorkabel5 m (erweiterbar bis 20m)
Serielles Kabel5 m
Netzkabel2,5 m